2007年中国半导体制造业年度人物(前道设备)
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下一篇 2008-05-06 13:26:36
中微半导体设备(上海)有限公司(AMEC)董事长兼CEO尹志尧(Gerald Yin)

2007年12月,AMEC发布了面向65nm及45nm工艺用蚀刻装置“Primo D-RIE”和CVD装置“Primo HPCVD”,两款产品与市场上的现有产品相比处理能力提高35%、成本则降低35%。AMEC于2007年6月向客户交付了各1台测试机。
AMEC的12英寸、65nm及45nm蚀刻机及CVD设备,是中国产核心设备首次进入国际主流生产线。
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