高功率准分子激光器
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/ 个人分类:气体激光器
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Pulse Master®高功率准分子激光器 |
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- TMCTM (全金属陶瓷封装Total Metal Ceramic)保证长的气体寿命
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PulseMaster 高功率或高能量型准分子激光器波长在193、248、308 、351 nm。该激光器具有高的光束均匀性、高的能量稳定性、极好地光束指向稳定性,各激光参数可进行精密控制。 全金属陶瓷封装的结构保证长的气体寿命和低的运行成本。强大的微处理系统控制激光器稳定输出和日常操作。 其应用包括:DWDM应用的布拉格光纤光栅的刻写,电路板修复,坚硬材料如金属、陶瓷的微加工,薄的金属膜层的图案刻画,医用塑料如聚亚安酯输尿管的加工。
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| PulseMaster 系列激光器型号参数说明: |
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| 参数 |
840 系列 |
880 系列 |
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ArF |
KrF |
XeCl |
XeF |
|
ArF |
KrF |
XeCl |
XeF |
| 波长(nm) |
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193 |
248 |
308 |
351 |
|
193 |
248 |
308 |
351 |
| 脉冲能量(mJ) |
|
230 |
450 |
300 |
275 |
|
400 |
850 |
600 |
500 |
| 平均功率(W) |
PM-848 |
80 |
30 |
50 |
45 |
PM-888 |
18 |
70 |
50 |
40 |
|
PM-846 |
15 |
40 |
25 |
22 |
PM-886 |
15 |
35 |
25 |
20 |
|
PM-844 |
6 |
20 |
12 |
11 |
PM-884 |
6 |
14 |
10 |
8 |
|
PM-842 |
3 |
10 |
6 |
6 |
PM-882 |
3 |
7 |
5 |
4 |
|
重复频率(Hz) |
PM-848 |
200 |
200 |
200 |
200 |
PM-888 |
60 |
100 |
100 |
100 |
|
PM-846 |
100 |
100 |
100 |
100 |
PM-886 |
50 |
50 |
50 |
50 |
|
PM-844 |
40 |
50 |
50 |
50 |
PM-884 |
20 |
20 |
20 |
20 |
|
PM-842 |
20 |
30 |
30 |
30 |
PM-882 |
10 |
10 |
10 |
10 |
| 脉冲宽度(ns) |
12 - 20 |
14 - 26 |
| 光束尺寸(mm) |
8 - 12 x 25 |
12 - 17 x 29 |
| 发散角(mrad) |
1 x 3 |
1.5 x 3.5 |
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