氮分子激光器
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下一篇 2007-12-26 10:33:26
/ 个人分类：气体激光器
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俄国PLASMA公司是世界上顶尖的气体激光器生产商，其产品主要特点是高质量、长寿命、中等价格。
氮分子激光器的发射带在UV波段，主要是337.1nm 、357.7 nm、315.9 nm。
PLASMA 拥有横向和纵向激励的脉冲氮分子激光器，由于其独特的性能（波长337nm、脉冲宽度小于10ns、平均功率0.01-1W），被广泛应用于微电子领域如光掩模、复杂的集成电路、薄膜电阻的生产、处理。由于其短波长更易聚焦得到小光斑，因此被用于加工亚微米量级的元件。此外，还被用于多种感光材料的高效曝光光源。
|
|
| 型号 |
NPL-0.5 |
NPL-3 |
NPL-10 |
LGN-505 |
LGN-511 |
| 波长, μm |
0.337 |
0.337 |
0.337 |
0.337 |
0.337 |
| 脉冲能量, μJ |
2.5 |
30 |
|
0.12 |
0.24 |
平均功率, mW
风冷
水冷 |
0.5 |
3 |
20
50 |
40
120 |
240 |
| 模式 |
TEMoo |
TEMoo |
TEMmn |
TEMmn |
TEMmn |
脉冲重复频率:
风冷
水冷 |
1-200 |
1-100 |
1-200
1-1000 |
1-200
1-1000 |
|
| 脉冲宽度, ns |
5 |
5 |
5 |
6-8 |
6-8 |
| 光束直径, mm |
1.5 |
2 |
5 |
5 |
5 |
| 发散角, mrad |
|
|
6-12 |
7 |
12 |
| 相对功率稳定性, % |
|
|
|
10 |
10 |
| 电压, V/Hz |
24 V |
220 V |
220±10% / 50 |
220±10% / 50 |
220±10% / 50 |
| 功率消耗, kV |
20 |
50 |
0.25 |
1.2 |
1.5 |
| 工作温度, OC |
0…+40 |
0…+40 |
+10…+40 |
+10…+40 |
+10…+40 |
| 制冷 |
风冷 |
风冷 |
风冷
水冷 |
风冷
水冷 |
水冷 |
| 质保工作时间, h |
500 |
500 |
500 |
500 |
500 |
| 平均工作时间, h |
|
|
|
5000 |
5000 |
尺寸, mm
激光头
电源 |
200×130×70 |
590×255×155 |
640×220×180
375×385×195 |
840×343×238
484×510×212 |
1140×525×345 |
质量, kg
激光头
电源 |
3 |
10 |
18
18 |
35
35 |
105 | | |
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