中科院光电所成功研制新型紫外光刻机

近日，中国科学院光电技术研究所成功研发了URE-2000/35型紫外光自动光刻机，并以其特、新、优赢得了用户的赞赏，成为市场备受欢迎的微细加工设备之一。

该产品集新颖性、可靠性、实用性为一体。采用三柔性支点实现高精度自动调平；真空接触自动曝光；样片升降调平、曝光、复位实现自动化控制；采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明；可连续设定分离间歇，采用19吋液晶，对准过程方便直观。整机具有性能可靠，外观精美，操作方便，自动化程度高等特点。